硅晶片线切割用6HSiC微粉材料的研究及产业化

技术成果简介:

关键工序生产的自动化

① 粉碎（雷蒙磨）自动控制系统的研发研制可对粉碎车间雷蒙磨振动下料、粉碎、气流粗分工况进行实时监测、自动优化控制的自动监控系统。将雷蒙磨因堵塞停机造成的故障次数比现阶段减少75%，且提高工效15%以上。

② 气流分级自动控制系统的研发研制气流分级机用自动控制系统，具备以下功能：可根据分级轮主机负载实时自动调节喂料速度、根据所设定的风压值自动调整变频器运行、根据生产工艺要求自动向企业综合信息平台实时发送生产工况参数。

③ 提纯工序实时检测与信息管理系统的研发开发可对提纯缸、脱水机、烘干炉等主要设备工况进行实时监控的智能化监控仪设备。

④ 水力分级自动控制系统的研发研发水力分级设备用自动控制系统，可根据工艺曲线要求自动控制水流量。采用水泵变频控制，变常规的高低液位控制为恒液位控制，液位控制精度达到0.3%；研制出料自动切换装置，实现出料无人值守。

⑤ SiC冶炼炉在线自动测控装置的研发研制SiC冶炼炉在线自动测控装置，可按冶炼工艺和炉温自动进行恒功率综合优化控制，炉温控制精度达到2.5级。

成果已在工厂正常运行3年。