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微电子机械系统教育部重点实验室
发布日期: 2017-04-01     浏览次数: 13


http://mems.seu.edu.cn/uploadfile/2014/1212/20141212071617692.jpg主任:黄庆安教授

地址:江苏省南京市四牌楼二号

电话:025-83794642-8840

Emailjiangmx@seu.edu.cn

主页:http://mems.seu.edu.cn/

  

  

MEMS,即微电子机械系统,就是利用可批量化制造的微电子工艺,设计、制作和集成各类微小机械结构与系统的新兴技术,被誉为“微观世界的建筑学”。面对系统智能化、微型化、集成化发展的时代需求,东南大学以微电子学与固体电子学学科为主体、联合工程力学和机械工程学科,组建了MEMS实验室。

MEMS教育部重点实验室于20019月通过教育部验收正式成立,2002年和2007年先后顺利通过教育部评估。实验室依托东南大学电子科学与技术一级学科国家重点学科,聘请国内外MEMS行业一流学者成立专家委员会,是国家“211”工程、“985”工程重点建设部门。目前用房面积逾3200平方米,中心实验室固定人员33人,其中教授9人、副教授12人。科研团队中有教育部“长江学者奖励计划”特聘教授1人,国家杰出青年科学基金获得者2人,教育部“新世纪人才支持计划”入选者5人。每年招收硕士约30人,博士约10人。

秉持“多元、协作、卓越”的发展理念,以国家需求为导向,面向国际前沿,实验室在CMOS MEMSRFMEMSMEMS CADMEMS封装与可靠性、NEMS等方向上成立了专业的研究团队,团结合作,锐意进取,逐步发展成为国内外知名的MEMS研究基地。近5年承研国家重大专项2项,973课题2项,863课题10项,国家自然科学基金16项,其中重点项目2项,总研究经费逾6000万元;研究成果获国家技术发明二等奖1项、江苏省科技进步一等奖1项、教育部自然科学奖一等奖1项。

近五年已发表SCI收录论文140余篇、发明专利授权100余项,专著、译著逾10部,3项科研成果转化应用,在MEMS领域顶级期刊JMEMS上发表论文9篇,居国内高校领先水平。在Nature Nanotechnology, Nano LettersAdvanced Materials, PRLAPLLab on ChipJMMS&A等微纳系统领域相关重要期刊上也发表大量优秀论文。所研制的微型气象站系统和智能路面传感器系统已投入实用。


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